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CEM3000超高分辨率臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。它具有出色的電子光學系統(tǒng)，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

SuperViewW國產(chǎn)白光干涉測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。

NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設計，結構穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

VT6000自動三維共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合高穩(wěn)定性結構設計和優(yōu)異的3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖高分辨率鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。其抗振設計，在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

CEM3000一鍵臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。其操作系統(tǒng)簡便，樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列微納樣品臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。