NS系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
NS系列接觸式表面形貌臺階測量儀用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù),是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。
NS系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
中圖儀器NS系列國產(chǎn)探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。
中圖儀器NS系列納米級高精度臺階儀用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,集成超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
中圖儀器NS系列探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
中圖NS系列國產(chǎn)高精度臺階儀品牌數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
NS系列表面輪廓儀系統(tǒng)臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
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